Зашто је ваша цирконијумска мета нестабилна? Свеобухватна анализа од чистоће и структуре зрна до процеса везивања.

Цирконијум је веома реактиван метал и изузетно је осетљив на кисеоник.

Ако је садржај кисеоника у цирконијумској мети превисок, то ће довести до:

* Формирање локализованих изолационих фаза
* Циљна акумулација површинског набоја
* Појачано абнормално пражњење
* Повећана фреквенција лука

На крају се манифестује као:

* Повећан број филмских честица
* Смањен принос
* Повећана контаминација кавитета

Овај проблем је посебно изражен у процесима ДЦ Магнетрон Спуттеринг.

Због тога, за{0}}апликације на танком филму врхунског квалитета:

* Садржај кисеоника обично треба да се контролише испод 1000 ппм

* Неке{0}}апликације високе класе захтевају чак и испод 300 ппм

Ово је такође разлог зашто:

Цирконијумске мете са истом номиналном чистоћом од 99,9% могу имати знатно различит стварни век трајања и стабилност прскања.

Многи купци се фокусирају само на хемијски састав, али занемарују микроструктуру.

У стварности:

Величина зрна и униформност микроструктуре директно утичу на дистрибуцију брзине распршивања.

Ако су зрна груба или имају значајну текстуру:

Ово ће довести до:

* Недоследне стопе прскања у одређеним областима
* Неуједначена ерозија циља
* Ненормално хабање у областима магнетног поља
* Погоршана уједначеност дебљине филма

Овај ефекат је још израженији за ротирајуће мете великих{0}}величина.

Унутрашња порозност у циљном материјалу је извор многих аномалија.

Цирконијумске мете-ниске густине обично показују:

* Микропорозност

* Преостали гас

* Локализовано накупљање топлоте

У условима велике{0}}напоне:

Ове области су склоне развоју:

* Микро{0}}пражњење

* Термичко пуцање

* Локализовано љуштење

Стога,{0}}цирконијумски циљеви високе класе обично користе:

* Вакуумско хапшење (ВАР)

* Процес топлог ковања

* ХИП (вруће изостатичко пресовање)

за побољшање густине материјала.

Висококвалитетни{0}}цирконијумски циљеви у индустрији:

Обично захтевају:

* Релативна густина Већа или једнака 99% теоријске густине

У супротном, чак и ако је прскање у почетку успешно, проблеми са стабилношћу ће се вероватно појавити касније.

Многи купци се фокусирају на циљно тело, али занемарују лепљење задње стране.

У стварности:

Неуспех циља често није „материјални проблем“, већ „проблем управљања топлотом“.

Ако везивни слој има:

* Празнине

* Локална деламинација

* Неуједначена топлотна проводљивост

Ово ће довести до:

* Локализован пораст температуре на циљној површини

* Концентрација топлотног напрезања

Повећан ризик од пуцања

Уобичајене методе везивања укључују:

Карактеристике процеса
Везивање индија: Добра топлотна проводљивост, погодна за ниско{0}температурне процесе
Везивање еластомера: Снажан капацитет пуферовања напрезања
Дифузионо везивање: Висока чврстоћа везе, погодна за{0}}прилике велике снаге

Различита опрема и услови напајања имају потпуно различите захтеве за шеме везивања.

За ПВД процесе:

Циљеви за распршивање цирконијума нису само "потрошни материјал".

Они су у суштини:

основни материјали који утичу на квалитет филма, стабилност опреме и производни принос.

Заиста стабилни циљеви за распршивање цирконијума ослањају се на:

* Контрола чистоће материјала
* Дизајн микроструктуре
* Процес згушњавања
* Могућности управљања топлотом
* Комплетан систем квалитета

За крајње{0}}кориснике:

Приликом куповине мета за распршивање цирконијума, цена не би требало да буде једина ствар у виду.

Фокусирајте се више на:

Да ли циљ за распршивање може стабилно да подржи ваш процесни прозор на дужи рок.

Кинески{0}}један произвођач прилагођених мета за распршивање

Наши производи имају нижи садржај кисеоника, већу чистоћу, уједначенију микроструктуру, веће ротирајуће мете и веће стопе коришћења.

Они нуде стабилну контролу над: процесом топљења, микроструктуром, процесом везивања и ултра{0}}високим нивоом чистоће.

Пошаљите упит одмах